华海清科：12英寸减薄抛光一体机出机量突破20台

　　中证报中证网讯(王珞)12月10日，华海清科官微披露，公司自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300累计出机量突破20台。这一发展里程碑，不仅体现了该装备卓越的技术性能与稳定的量产能力获得市场高度认可，更标志着国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等关键工艺领域实现了从技术突破到规模化应用的重要跨越，为产业发展注入强劲动力。

　　华海清科介绍，减薄抛光一体机的成功是公司坚持自主创新、攻克关键工艺的缩影。公司自2021年首台装备出机发往客户端，到2023年量产机台的顺利交付，再到如今的出机量突破20台，其凭借颠覆性的创新设计，将磨削减薄、化学机械抛光(CMP)与清洗模块一体化集成，实现了从装备结构、控制系统到工艺集成的全方位突破，不仅显著提升了减薄精度与工艺稳定性，更解决了复杂翘曲形态晶圆传输系统、跨洁净度等级清洗等一系列难题。

　　公司创新设计与稳定的量产能力为Versatile-GP300赢得行业高度关注与权威认可。该产品自面世以来已陆续荣获多项殊荣，更在今年成功斩获好设计金奖，其行业价值与贡献得到充分肯定。市场的认可是产品最有力的证明，该装备凭借优异的性能表现，已获得多家头部企业的重复订单，在客户端产线稳定运行，累计出货晶圆超20万片，持续贡献产能。本次累计出机突破20台，是客户信赖与市场选择的直接体现，进一步彰显了华海清科在半导体高端装备领域的领先地位。

　　华海清科表示，将以此次里程碑为新的起点，继续深耕“装备+服务”平台化发展战略。目前，公司已建立起覆盖化学机械抛光(CMP)、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等高端半导体装备与服务的多元化产品矩阵。未来，华海清科将始终坚持“自强成就卓越创新塑造未来”的企业精神，以市场需求为导向，持续加大研发投入，致力于为半导体产业提供更多先进的高端装备与工艺成套解决方案，赋能产业升级，为保障产业链安全与高质量发展贡献力量。