十载创新路 向芯启新程 | 微导纳米成立十周年暨上市三周年庆

　　微导纳米十周年暨上市三周年庆

　　半导体设备出货超500台

　　2025年12月18日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：微导纳米，股票代码：688147.SH）成立十周年暨上市三周年庆在微导纳米无锡总部隆重举行。各级政府领导、行业协会专家、合作伙伴与各界朋友齐聚一堂，共同回顾“十载创新路”，开启“向芯启新程”的崭新篇章。

　　01

　　十年奋进

　　铸就原子级制造的中国“芯”力量

　　自2015年创立以来，微导纳米便锚定原子层沉积（ALD）这一国际前沿的纳米级薄膜制备技术，开启了攻坚高端装备国产化的征程。2016年，公司成功研制出适用于太阳能电池片量产的批量型ALD设备，实现产业化突破，并以此为基石，果断向技术门槛更高的半导体集成电路制造领域进行战略拓展。

　　公司的技术攻坚在2020年取得关键进展，率先研制出国内首台量产型High-k原子层沉积设备，成功应用于28纳米制造节点。此后，公司技术平台持续拓宽，在化学气相沉积（CVD）这一当前应用最广的薄膜沉积领域实现重大突破，成为国内首批成功开发并进入产业链核心厂商量产线的硬掩膜化学气相沉积（CVD）设备国产厂商。2022年12月，微导纳米成功在科创板上市，成为“国内ALD设备第一股”，并借助资本市场力量，加速构建覆盖ALD、CVD等多元化薄膜沉积设备矩阵。

　　02

　　深耕厚植

　　进入高质量发展快车道

　　过去三年，借助上市平台，微导纳米发展迈入快车道。公司持续高强度研发投入，产品线与技术能力不断丰富和深化。目前，公司的ALD设备已全面覆盖行业所需主流薄膜材料与工艺，而CVD设备则在硬掩膜等关键工艺领域实现产业化突破，进入存储芯片等先进器件产线，并获得大批量订单。这两大核心技术共同支撑公司产品广泛应用于逻辑芯片、存储芯片、先进封装及化合物半导体等前沿制造领域。

　　市场表现印证了公司的硬核实力与平台化拓展成效，今年前三季度半导体营业收入呈现爆发式增长，营业收入5.26亿元，同比大幅增长78.27%。订单动能更为强劲，2025年1-9月，公司半导体领域新增订单约14.83亿元，同比增长近一倍，其中超80%来自存储芯片头部客户。

　　03

　　继往开来

　　启航全球化竞争新篇章

　　公司创始人、先导集团董事长王燕清先生回顾了微导纳米的十年历程：“过去十年，我们最初以ALD技术为尖刀，突破了高端装备的壁垒。如今，我们的技术平台已成功拓展至CVD等更广泛的薄膜沉积领域，实现了多款国产设备从“0到1”的突破和“从1到N”的市场应用。我们不仅填补空白，更以自主可控的高端装备，奠定了在半导体薄膜沉积领域的技术引领地位。”

　　他进一步指出：“上市三年来，公司整体营收从2022年的6.85亿元增长至2024年的27亿元，增幅达四倍；其中半导体业务增长超过七倍。这份成绩，回报了股东信任，更证明了微导纳米在高端装备领域的强劲爆发力。

　　公司展望未来时提出：“新的十年，微导纳米一要坚守技术本色，在巩固原子层沉积技术优势的同时，持续做强包括CVD在内的多种纳米级薄膜制备平台技术；二要拓宽全球视野，对标世界一流，以更开放姿态参与全球竞争；三要深化产业协同，与上下游伙伴共建生态，为中国高端装备制造业发展贡献更多‘微导力量’。”