十年精微铸重器 微导纳米以原子级制造助力中国“芯”征程

　　上证报中国证券网讯（记者 李兴彩）12月18日，微导纳米举办公司成立十周年暨上市三周年庆典活动。无锡新吴区党工委副书记、新吴区区长章金伟，中国半导体行业协会集成电路分会特聘副理事长、江苏省半导体行业协会执行顾问于燮康、先导集团董事长王燕清和来自各级政府、行业协会、合作伙伴及产业链的嘉宾齐聚微导纳米无锡总部，共同见证公司“十载创新路，向芯启新程”的里程碑时刻。

　　“过去十年，我们坚持以ALD技术为核心，实现了多款国产设备从0到1的突破和从1到N的市场应用。从首台国产high-k原子层沉积设备，到国内首批国产半导体硬掩膜CVD设备，我们不仅填补空白，更以技术自主的高端装备，奠定了在半导体薄膜沉积领域的技术引领地位。”在十周年庆典上，微导纳米创始人、先导集团董事长王燕清回顾了公司的十年历程。

　　回首2015年，中国半导体产业开启蓬勃发展，但由于技术壁垒极高等因素，芯片制造前道工艺中核心设备之一薄膜沉积设备市场长期被外资厂商垄断。在此背景下，微导纳米应运而生。

　　创立之初，微导纳米便做出了一个极具前瞻性的战略抉择：跳过跟踪模仿，直接瞄准国际前沿的原子层沉积（ALD）技术进行自主攻关。

　　创业维艰，但凭着“夸父逐日”般的执着精神，微导纳米实现了跨越式的突破。2016年，公司成功研制出适用于太阳能电池片量产的批量型ALD设备，迈出了向中国高端ALD设备技术产业化的关键第一步。2018年，公司开启向半导体集成电路制造专用设备领域拓展，进入技术“无人区”。2020年，公司率先将自研量产型High-k原子层沉积设备应用于28纳米节点集成电路制造前道生产线，实现了本土高端薄膜沉积设备的重大突破。

　　2022年12月，成立仅七年的微导纳米成功登陆科创板，成为“国内ALD设备第一股”，公司发展获得了更大的资本助力。

　　王燕清进一步介绍，上市三年来，公司整体营收从2022年的6.85亿元增长至2024年的27亿元，增幅达4倍；其中，半导体业务增长超过7倍。这份成绩，回报了股东信任，更证明了微导在高端装备领域的强劲爆发力。

　　根据公开市场数据，微导纳米ALD产品已连续多年在营收规模和市场占有率方面位居国内同类企业第一。

　　现在，微导纳米的技术价值跃升，正更快转化为市场规模扩张和业绩增长。2025年1-9月，公司半导体领域新增订单约14.83亿元，同比增长近1倍，其中超80%来自存储芯片头部客户，显示公司已深度切入本土存储产业链；同期半导体设备营业收入达5.26亿元，同比增长78.27%，占总营收比重显著提升。

　　站在十周年的新起点，微导纳米的视野早已超越单一设备的供给，正致力于构建以核心技术为驱动的开放创新生态。

　　展望未来，公司提出，新十年，微导纳米一是要坚守技术本色，向科学前沿进军，做深做强底层核心技术；二是要拓宽全球视野，对标世界一流，以更开放姿态参与全球竞争；三是要深化产业协同，与上下游伙伴共建生态，为中国高端装备制造业发展贡献更多“微导力量”。